Ⅰ期硅沉着病：硅结节主要局限于淋巴系统。两侧肺门淋巴结肿大，淋巴结内见硅结节形成。近肺门处肺组织及胸膜上也可有硅结节形成。Ⅱ期硅沉着病：硅结节数量增多，体积增大，散布于全肺，但仍以肺门周围中、下肺叶较密集，总的病变范围不超过全肺的1/3，胸膜增厚。Ⅲ期硅沉着病：两肺内硅结节密集且相互融合成块。团块状结节的中央可有硅沉着病空洞形成，病变范围超过全肺的2/3，硅结节间肺组织有明显的肺气肿改变。