化学发光法中氮氧化物分析器的工作原理是用光度计检测臭氧和NO气体反应发出的化学荧光。臭氧和亚稳态的NO气体反应时，生成的NO2处于激发态，跃迁到基态过程中，发出波长600～2400nm的光线，其中1200nm波长的光线能量最大。而先的能量与参加反应的NO浓度成正比。